針對(duì)科研實(shí)驗(yàn)室、半導(dǎo)體產(chǎn)線普遍存在的微弱電流單點(diǎn)測(cè)試效率低、多樣品并行測(cè)試設(shè)備投入成本高、通道擴(kuò)容繁瑣等行業(yè)痛點(diǎn)，華測(cè)儀器HC-PAX 多通道電流矩陣模塊提供高密度批量測(cè)試解決方案，解決皮安級(jí)微弱電流大批量同步檢測(cè)難題。

模塊可連接高準(zhǔn)度靜電計(jì)，依靠單臺(tái)靜電計(jì)即可搭建大規(guī)模多通道自動(dòng)化測(cè)試系統(tǒng)，一改傳統(tǒng)單通道逐點(diǎn)測(cè)量的低效模式，優(yōu)化儀器利用率，成倍縮短批量樣品檢測(cè)周期，優(yōu)化整體測(cè)試產(chǎn)能與實(shí)驗(yàn)室產(chǎn)線流轉(zhuǎn)效率。

硬件采用單獨(dú)通道控制架構(gòu)，各路電流通道支持單獨(dú)通斷、時(shí)序與負(fù)載參數(shù)自主調(diào)控，通道間互不干擾，可靈活配置單路測(cè)試、多路同步掃描、分組循環(huán)檢測(cè)等多種工作模式，適配多樣化測(cè)試方案需求。整機(jī)采用模塊化插拔設(shè)計(jì)，單臺(tái)機(jī)箱可集成128通道，支持8臺(tái)機(jī)箱拓展，整機(jī)通道規(guī)模可達(dá) 1024 通道，從實(shí)驗(yàn)室小批量試樣到產(chǎn)線千點(diǎn)并行檢測(cè)均可靈活適配。

高密度集成機(jī)身可減少整套測(cè)試系統(tǒng)占用空間，對(duì)比傳統(tǒng)多儀表并聯(lián)方案，可節(jié)省 90% 機(jī)柜布設(shè)空間，同步減少配套線纜、接線端子與配套輔材采購(gòu)成本，可降低整套測(cè)試平臺(tái)硬件投入與現(xiàn)場(chǎng)布線施工工作量。

內(nèi)置高速低漏電矩陣開(kāi)關(guān)，通道切換時(shí)間低至 20ms，響應(yīng)速度快，支持動(dòng)態(tài)負(fù)載自適應(yīng)切換、連續(xù)高速循環(huán)掃描測(cè)試，適配長(zhǎng)時(shí)間無(wú)人值守自動(dòng)化巡檢；整機(jī)采用低電容信號(hào)通路設(shè)計(jì)，可減少雜散電容帶來(lái)的信號(hào)畸變與電流漂移，測(cè)量信號(hào)建立穩(wěn)定迅速，減少信號(hào)穩(wěn)定等待時(shí)長(zhǎng)，進(jìn)一步壓縮整體測(cè)試耗時(shí)，保障批量檢測(cè)數(shù)據(jù)一致性與可重復(fù)性。

測(cè)量電流量程覆蓋±1pA~±100mA寬區(qū)間，全域覆蓋微弱漏電流至常規(guī)器件工作電流檢測(cè)需求：可準(zhǔn)確捕捉高阻值絕緣薄膜、陶瓷介質(zhì)、高阻電阻的皮安級(jí)微小漏電信號(hào)，完成材料絕緣性能、電阻率表征，適用于傳感器測(cè)試、光電與光伏器件測(cè)試等領(lǐng)域。